TY  - BOOK
AU  - Dudek,Mariusz
TI  - Wielofunkcyjne cienkie warstwy wytwarzane w magnetronowym reaktorze plazmochemicznym
T2  - Zeszyty Naukowe / Politechnika Łódzka. Rozprawy Naukowe,
PY  - 2010///
CY  - Łódź
PB  - Wydawnictwo Politechniki Łódzkiej
KW  - Magnetrony
KW  - stosowanie
KW  - Powłoki ochronne
KW  - Rozpylanie
KW  - Układy scalone cienkowarstwowe
KW  - technologia
N1  - Numeracja serii gł.: nr 1077. Na s. red. odmienny tyt. serii: Zeszyty Naukowe Politechniki Łódzkiej; Bibliogr. s. 78-88
UR  - http://koha.tu.koszalin.pl/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=59246
ER  -