TY  - BOOK
AU  - WACZYŃSKI,Krzysztof
AU  - WRÓBEL,Edyta
TI  - Technologie mikroelektroniczne: metody wytwarzania materiałów i struktur półprzewodnikowych 
SN  - 9788373353626
PY  - 2006///
CY  - Gliwice
PB  - Wydawnictwo Politechniki Śląskiej
KW  - Półprzewodniki
KW  - technologia
KW  - materiały
KW  - Mikroelektronika
KW  - Podręczniki akademickie
N1  - Bibliogr
UR  - http://koha.tu.koszalin.pl/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=53030
ER  -