TY - BOOK AU - Dziuban,Jan A. ED - Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej TI - Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów SN - 8370857760 PY - 2004/// CY - Wrocław PB - Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej KW - Analogowy układ elektroniczny KW - DBN KW - Mikroelektronika KW - Szkło KW - Układ cyfrowy KW - Mechatronika KW - Czujniki KW - Krzem KW - Inżynieria i technika N1 - Bibliogr. przy rozdz UR - http://koha.tu.koszalin.pl/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=46518 ER -