TY  - BOOK
AU  - GAZICKI-LIPMAN,Maciej
TI  - Cienkie warstwy germanowo-węglowe wytwarzane w plazmie wysokiej częstotliwości z germanoorganicznych związków wyjściowych
T2  - Zeszyty Naukowe / Politechnika Łódzka. Rozprawy Naukowe,
PY  - 2000///
CY  - Łódź
PB  - Wydaw. PŁ
KW  - German
KW  - stosowanie
KW  - technika
KW  - Plazma (fiz.)
KW  - Układy scalone cienkowarstwowe
KW  - Węgiel (chem.)
N1  - Nr serii gł.: 840. - Na s. red. odmienny tytuł serii : Zeszyty Naukowe Politechniki Łódzkiej; Tekst częśc. ang. - Streszcz. ang; Bibliogr
UR  - http://koha.tu.koszalin.pl/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=38841
ER  -