Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów /
Dziuban, Jan A. (1951- )
Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów / Jan A. Dziuban. - Wyd. 2 popr. - Wrocław : Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2004. - 340 s. : fot. (w tym kolor.), rys., tab., wykr. ; 24 cm.
Bibliogr. przy rozdz.
8370857760
PB 2004/13174
Analogowy układ elektroniczny
Mikroelektronika
Szkło
Układ cyfrowy
Mechatronika
Czujniki
Krzem
Inżynieria i technika
681.5:004:621.38 621.791/.049.77 795 661.6
Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów / Jan A. Dziuban. - Wyd. 2 popr. - Wrocław : Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2004. - 340 s. : fot. (w tym kolor.), rys., tab., wykr. ; 24 cm.
Bibliogr. przy rozdz.
8370857760
PB 2004/13174
Analogowy układ elektroniczny
Mikroelektronika
Szkło
Układ cyfrowy
Mechatronika
Czujniki
Krzem
Inżynieria i technika
681.5:004:621.38 621.791/.049.77 795 661.6